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高gn值加速度传感器在侵彻武器等领域受到广泛应用，对量程、灵敏度、固有频率等指标也提出了更高的要求。设计了一种MEMS高gn值加速度传感器，在传统梁-岛结构加速度传感器的基础上进行了改进，采用主微梁互补结构在提高固有频率、量程的同时，提高了灵敏度。在梁的末端提出了新式的延伸梁结构设计，大大减小了集中应力的现象，提高了结构的抗过载能力。利用ANSYS有限元分析软件，对该加速度传感器进行了静态、模态和瞬态分析。经仿真验证，该MEMS高gn值加速度传感器的各项指标均满足要求，具有明显的优越性。