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采用溶胶-凝胶法在SiO2/Si衬底上沉积V2O5薄膜,详细介绍了对衬底表面作亲水处理的方法.以不同浓度溶胶,在不同温度和不同气氛下对薄膜进行热处理,得到以〈001〉向为主取向的高取向薄膜,从理论上解释了V2O5薄膜的取向机理,并与相同衬底上的热蒸发和PLD氧化钒薄膜的取向作了比较.
Sol—Gel V2O5薄膜的成膜和取向研究
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在SiO2/Si衬底上沉积V2O5薄膜,详细介绍了对衬底表面作亲水处理的方法.以不同浓度溶胶,在不同温度和不同气氛下对薄膜进行热处理,得到以〈001〉向为主取向的
【机 构】
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江苏石油化工学院,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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江苏石油化工学院学报
【发表日期】
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2001年4期
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