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对微纳制造技术领域2000-2010年时间段的SCI和EI文献计量分析，结果显示，近年来该领域的研究呈现出增长趋势，美国在微纳制造领域的研究处于绝对领先的地位。SCI文献分析表明，纳米尺度的制造技术、微米尺度的制造技术、微机电系统、微流体、微加工等是近年来研究的热点领域：EI分析则显示，光刻技术、微加工、微机电器件、纳米结构材料、扫描电子显微镜等是研究的热点。