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基于两步广义相移干涉术, 设计微小形变测量实验装置, 介绍工作原理和测量方法。采用同轴相移数字全息正交光路, 记录形变前后物光、参光、干涉图强度, 以两步广义相移干涉算法为基础, 恢复原物光相位和表面形貌信息, 相减后得到表面形变量。实验结果表明, 相对于现有表面微小形变测量方法, 提出得方法能够精密测量物体表面微小形变量, 方法简单易行, 精度可达纳米量级。