基于MEMS的无阀泵研究进展

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ynzhengda

【摘要】

：

微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵.无阀型微泵由于其结构相对简单、

【作者】

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白兰冯志庆吴一辉

【机构】

：

大连民族学院

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

MEMS 微型无阀泵扩张管/收缩管 MEMS micro valveless pump diffuser /nozzle

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微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵.无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而有着独特的发展优势.主要介绍了基于MEMS的扩张管/收缩管型无阀泵几年来在结构设计、制作工艺等方面的研究成果、现状和发展前景.

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