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本文介绍了一种使用分度头及专用卡具检测光栅角位移传感器准.确度的方法,并对测量误差进行了分析。与用多面体—光电准直仪等检测方法比较,该方法具有操作容易、数据处理简单等特点。
光栅角位移传感器准确度检测装置及误差分析
【摘 要】
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本文介绍了一种使用分度头及专用卡具检测光栅角位移传感器准.确度的方法,并对测量误差进行了分析。与用多面体—光电准直仪等检测方法比较,该方法具有操作容易、数据处理简单等特点。
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所国家仪器仪表元器件质量监督检验测试中心
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1992年05期
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