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低压化学气相淀积多晶硅薄膜工艺研究
低压化学气相淀积多晶硅薄膜工艺研究
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heyifeizhu
【摘 要】
:
在研制器件过程中,多晶硅制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了低压化学气相淀积(LPCVD)关键材料多晶硅薄膜的基本原理,考察了工作压力、反应温度等对多晶硅薄膜淀积速率
【作 者】
:
谭刚
吴嘉丽
李仁锋
【机 构】
:
中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
2006年11期
【关键词】
:
低压化学气相淀积
多晶硅薄膜
淀积速率
优化
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在研制器件过程中,多晶硅制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了低压化学气相淀积(LPCVD)关键材料多晶硅薄膜的基本原理,考察了工作压力、反应温度等对多晶硅薄膜淀积速率的影响,以及影响多晶硅薄膜质量的因素,提出了改进措施,优化了多晶硅制备工艺参数,制备了合格的多晶硅薄膜。
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