【摘 要】
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本文主要研究一种基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺,该工艺可有效的提高多晶电池Uoc可达10 mV。采用硼扩散后形成的硼掺杂层(BSG)作为多晶电池背面钝化工艺。在工艺上
【机 构】
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山西潞安太阳能科技有限责任公司,山西省光伏电池工程技术研究中心
【基金项目】
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山西省国际科技合作项目“采用硼扩散实验多晶背钝化高效工业化太阳能技术”（项目编号：2015081056）阶段性成果,山西省重点研发计划重点项目“高性能柔性炭电极材料研究”（项目编号：201603D 112007）最终成果
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本文主要研究一种基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺,该工艺可有效的提高多晶电池Uoc可达10 mV。采用硼扩散后形成的硼掺杂层(BSG)作为多晶电池背面钝化工艺。在工艺上采用和磷扩散工艺类似的工艺步骤,通过优化沉积时间,推进氧化过程中的O2,N2流量等,达到最佳的Uoc提升效果,经过优化后的背面钝化工艺可以有效提高多晶电池的转换效率0.5%,从而实现了在多晶电池提高电池效率的目的。
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