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最近几年,我国的微机电系统和机械零件制造业在社会经济发展的影响下,呈现出突飞猛进的发展势头。精密超精密加工技术也对我国的航天、国防和微电子工业等行业发展起到了至关重要的促进作用。因此,在微机械制造中运用精密超精密加工技术,不但能够使我国的微机械零件制造水平得到提升,还能带动我国微机械制造业进一步的发展。