【摘 要】
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本文评述了超薄SOI结构的性能优点,并对需要由SOI工业指明的工艺因素和市场驱动因素做了预测。
This article reviews the performance benefits of ultra-thin SOI structu
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本文评述了超薄SOI结构的性能优点,并对需要由SOI工业指明的工艺因素和市场驱动因素做了预测。
This article reviews the performance benefits of ultra-thin SOI structures and predicts the process and market drivers that need to be specified by the SOI industry.
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