Pb（Sc1／2Ta1／2）O3铁电薄膜的制备及性能研究

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【摘要】

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用Pb(CH3COO)2·3H2O、Sc(CH3COO)3·xH2O和C10H25O 5Ta为原材料,乙二醇甲醚为溶剂,用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SO2/Si基片上成功地制备出ABO3钙钛矿型结

【作者】

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刘梅冬曾亦可邓传益姜胜林李元昕李艳秋

【机构】

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华中科技大学,中国科学院

【出处】

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压电与声光

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

铁电薄膜 Pb(Sc1/2Ta1/2)O3 溶胶-凝胶铁电性热释电性 ferroelectric thin films Pb(Sc_(1/2)Ta_(1/

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)，国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金

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用Pb(CH3COO)2·3H2O、Sc(CH3COO)3·xH2O和C10H25O 5Ta为原材料,乙二醇甲醚为溶剂,用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SO2/Si基片上成功地制备出ABO3钙钛矿型结构Pb(Sc1/2Ta1/2)O3(PST)铁电薄膜.该薄膜是研制铁电微型致冷器和非致冷热释电红外焦平面阵列的优选材料.对制备出的PST薄膜进行了介电、铁电和热释电性能测试.测试得到在1 kHz下PST薄膜的介电常数为570,介电损耗为0.02.铁电性能良好,剩余板化强

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