【摘 要】
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用射频反应溅射法制备出BCN薄膜．X射线衍射和傅立叶红外吸收光谱测量发现样品的组成原子之间实现了原子级化合，样品与Si衬底之间存在较大的应力．样品剥落后，应力的消除使红外吸收
【机 构】
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兰州大学物理科学与技术学院,北京工业大学材料学院
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用射频反应溅射法制备出BCN薄膜．X射线衍射和傅立叶红外吸收光谱测量发现样品的组成原子之间实现了原子级化合，样品与Si衬底之间存在较大的应力．样品剥落后，应力的消除使红外吸收峰位向低波数移动．实验还发现，衬底材料对样品中的压应力影响很大，压应力的释放与衬底密切相关：在硅衬底上呈枫叶状隆起，在石英衬底上样品呈周期性的折线状隆起．
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