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随着电子及信息产业迅猛发展,全球溅射靶材的需求量越来越多。文章介绍了靶材的分类、制备方法和应用情况,并指出了目前溅射靶材急需解决的几个重大问题。
溅射靶材的制备及应用研究
【摘 要】
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随着电子及信息产业迅猛发展,全球溅射靶材的需求量越来越多。文章介绍了靶材的分类、制备方法和应用情况,并指出了目前溅射靶材急需解决的几个重大问题。
【机 构】
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四川理工学院材料与化学工程系
【出 处】
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四川理工学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2005年03期
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