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采用阴极电沉积法，以Zn（NO3）2水溶液为电解液，在透明导电玻璃ITO衬底上制备了zn0薄膜，用x射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（sEM）分析了ZnO薄膜的微纳结构和表面形貌。用Fluoromax-P型荧光光谱仪测量了样品的室温光致发光光谱，观察到550nm．处的黄绿光发射峰，认为与样品中由导带到氧填隙引起的浅受主能级的电子跃迁有关。对样品进行500℃真空退火，研究了退火前后薄膜的结构及导电性能的变化。结果表明，退火处理使薄膜的均匀性和结晶质量得到改善，导电性明显增强。此外，还观察了薄膜的阴极射线