【摘 要】
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为了提高大尺寸多晶硅锭质量,本文对多晶硅定向凝固系统冷却过程进行瞬态数值模拟,研究了不同冷却时刻炉体内温度场、流场及硅锭内应力场瞬态变化,隔热底板位移按直线、正弦
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20110142120065)
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为了提高大尺寸多晶硅锭质量,本文对多晶硅定向凝固系统冷却过程进行瞬态数值模拟,研究了不同冷却时刻炉体内温度场、流场及硅锭内应力场瞬态变化,隔热底板位移按直线、正弦及抛物线规律变化时,硅锭内部最大米塞斯力及无位错面积百分比随时间的变化,以及不同入口气体速率对硅锭内部最大米塞斯力的影响。计算结果表明:隔热底板位移按正弦规律变化更有助于提高多晶硅锭质量;冷却结束时硅锭内最大米塞斯力随入口流速的增加而增大;冷却初始阶段,增大入口气体速率有利于降低硅锭内部最大米塞斯力。
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