【摘 要】
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为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性，研究了一种初始入射角校准方法，通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动，其运动轴作为空间线性辅助参考量，实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明：采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角，光轴俯仰角偏差＜0.05°,偏摆角偏差＜0.09°;校准后，对标称值为102.10 nm的Si上SiO2膜厚标准片进行测量，示值误差＜0.4 nm,
【机 构】
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合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
【基金项目】
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国家质量基础的共性技术研究与应用（2017YFF0204705）；
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为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性，研究了一种初始入射角校准方法，通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动，其运动轴作为空间线性辅助参考量，实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明：采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角，光轴俯仰角偏差＜0.05°,偏摆角偏差＜0.09°;校准后，对标称值为102.10 nm的Si上SiO2膜厚标准片进行测量，示值误差＜0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。
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