薄起始层的VHF PECVD底栅微晶硅薄膜晶体管

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ahua501

【摘要】

：

对微晶硅薄膜晶体管，尤其对底栅型晶体管，在衬底和晶化层间存在一层非晶相起始层，这将严重影响器件性能．文中采用降低硅烷浓度的方法简便有效地减薄了用超高频化学气相法直接沉积

【作者】

：

李娟赵淑云刘建平吴春亚张晓丹孟志国赵颖熊绍珍

【机构】

：

南开大学光电子研究所,天津机电职业技术学院,庆熙大学信息显示系先进显示研究中心

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

微晶硅起始层硅烷浓度底栅薄膜晶体管 microcrystalline silicon incubation layer silicon concentra

【基金项目】

：

国家自然科学基金(批准号:60437030,60077011和69907002),,国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA303261),,天津市自然科学基金(批准号:02360211)资助项目~~

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

对微晶硅薄膜晶体管，尤其对底栅型晶体管，在衬底和晶化层间存在一层非晶相起始层，这将严重影响器件性能．文中采用降低硅烷浓度的方法简便有效地减薄了用超高频化学气相法直接沉积的微晶硅薄膜起始层的厚度，得到起始层厚度小于20nm的微晶硅薄膜．在硅烷浓度为2％的条件下采用四版工艺制备了具有Al／SiNx／μc-Si／n^+μc-Si／Al结构的底栅微晶硅TFT，其开关比(Ico／Ioff)达到10^6，场效应迁移率为0．7cm^2／(V·s)，阈值电压为5V左右．

其他文献

德育在英语教学中的多元化渗透探研

英语教师在明确教学重点的基础上,应该从学生的身心健康发展入手,将教材内容所富含的德育价值全面展现出来。文章分析核心素养下英语教学进行多元化德育渗透的重要意义,探讨

期刊

英语教学德育核心素养多元化English teachingmoral educationcore competencediversity

并五苯的溶解及其薄膜性能表征

报道了并五苯的邻-1，2-氯苯溶液的制备方法及在Si和SiO2表面形成的固态薄膜的紫外-可见光光谱（uV-Vis）、光学显微镜、扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和X射线衍射（xRD）的表征结果．该

期刊

并五苯溶液薄膜UV-VISAFMSEMXRDpentacene solution thin films UV-Vis AFM SEM XR

高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵

报道了980nm高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵的研制．列阵单元为蜂窝状密堆积排列，单元台面直径为70μm，氧化孔径为30μm，相邻单元间隔为100μm．制作了含7，19，37个单元的列阵

期刊

垂直腔面发射激光器列阵阈值电流发散角大功率VCSEL array threshold current far-field angle high

小波变换与CNN相结合的视频加密算法

针对加密后视频数据量巨大,安全性和实时性难以平衡等问题,本文提出小波变换与细胞神经网络相结合的视频加密算法。该算法采用五维细胞神经网络超混沌系统作为密钥源,初始值

期刊

小波变换低频细胞神经网络视频加密视频大小Wavelet transformlow frequencycellular neural network

“地球上最后一块净土”——瓦努阿图

2006年,经国家商务部批准,盐城市农科院选配6名专家承担"中国援助瓦努阿图水稻、蔬菜种植技术培训"项目。之后,瓦努阿图就成了我除了中国外最熟悉的国家。"瓦努阿图?是一个国

期刊

西南太平洋澳大利亚悉尼蔬菜种植技术热带雨林瓦努阿图大洋洲盐城市农科院

一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法

提出了一种解决SU-8去胶难题的方法．该方法首先将SU-8微结构用PDMS进行复制，然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸．电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具．通过

期刊

SU-8去胶电铸PDMS金属模具高深宽比微结构SU-8 removalelectroplatingPDMSmicromold inserthi

关于加强化工企业检维修安全管理的措施与建议

据统计,我国危险化学品生产、使用、储存单位超过1万个。化工原料、半成品、成品种类繁多。它们大多是易燃、易爆、有毒和腐蚀性化学品。生产过程通常在高温、高压或低温、高

期刊

化工企业检维修安全管理措施建议

饮食文化融合视角下高校大学生思想政治教育创新性探析

随着时代发展和国内外形势变化,在多元文化和价值共存的背景下,大学生思想政治教育也面临新的发展需求。我国饮食文化历史悠久、体系完整,纵览饮食文化发展史犹如置身于美食

期刊

文化发展史饮食文化思想政治教育模式大学生思想政治教育融合视角多元文化创新性探析政治元素

超深亚微米工艺下的电路级耦合SET脉冲注入

超深亚微米工艺下在电路模拟器中使用独立电流源方法的单粒子瞬态（single event transient,SET）脉冲注入与实验结果有很大误差.作者提出了一种基于二维查找表的耦合电流源注入

期刊

单粒子瞬态脉冲注入辐射效应SET pulse injection radiation effect

软弱围岩条件下CRD法隧道三维变形规律研究

软弱围岩隧道施工变形问题一直是工程领域的热点问题。CRD(Center Cross Diaphragm)法是软岩隧道施工的常用工法之一。现以某地新建隧道为背景,采用三维有限元模型对CRD法隧

期刊

软弱围岩CRD法隧道数值模拟变形weak surrounding rockCRD tunnelnumerical simulationdeform

薄起始层的VHF PECVD底栅微晶硅薄膜晶体管

与本文相关的学术论文