【摘 要】
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非共振光声红外气体检测系统结构简单、成本低，有很好的应用前景。设计和制备了基于MEMS电调制光源、驻极体麦克风和单腔室及双腔室非共振光声探测器的气体检测系统。根据系统
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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非共振光声红外气体检测系统结构简单、成本低，有很好的应用前景。设计和制备了基于MEMS电调制光源、驻极体麦克风和单腔室及双腔室非共振光声探测器的气体检测系统。根据系统的频率响应特性选择了最佳的光源调制频率，并对不同体积分数的CO2气体进行了测试。相对于传统的单腔室结构，设计的双腔室结构有效提高了系统的响应信号幅值，并降低了气体检测限，单腔室系统的检测限约为7．2×10^-6，双腔室系统的检测限约为2．1×10^-6。
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