【摘 要】
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FSI国际有限公司日前宣布：一家世界领先的美国IC制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的200／300mmMAGELLAN浸泡式清洗系统，此项订单缘于MAGELLAN系统领先同类产品的微粒去
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FSI国际有限公司日前宣布：一家世界领先的美国IC制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的200／300mmMAGELLAN浸泡式清洗系统，此项订单缘于MAGELLAN系统领先同类产品的微粒去除能力及刻蚀均匀度。MAGELLAN系统是一个200／300ram混用型机台，它为应对高级IC研发和制造所带来的挑战而专门设计。其领先业界的性能源于FSI独有的表面张力剃度（STG刑）清洗／干燥、SymFlowTM刻蚀和MegaLensTM超音波技术。
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