微型结构与实际应用之间的接口

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<正> 微型结构技术,有着很大的应用潜力,这一点已通过许多著名的研究工作得到证实。但是,真正转换为产品,还是处于起步阶段。至今市场上可提供的仅有压力传感器和加速度传感器。在新技术的广泛应用中遇到的一个重要问题,就是有必要掌握在微观结构与宏观环境之间的接口,即有必要做出能够操作微结构的方案。本文以LIGA技术为例,指出操作与装配微型结构问题的解决办法。
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