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介绍了一种采用双单元扫描隧道显微镜实现纳米超微定位超微加工的新方法，双单元扫描隧道显微镜由两个Ｚ向同轴ＳＴＭ单元上下组合而成，分别作为样品测量加工单凶与参考定位单元，两者共用一个ＸＹ扫描器，参考定位单元以规则的晶格空间为参考，采用原子阵列伺服寻踪和针尖锁定剂到原子的技术，可以实现纳米级超微定位，与参考定位单元具有相同定位精度的样品测量加工单元采用电压脉冲法可以形成样品表面上的纳米级特征结构。