【摘 要】
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<正> 在自由电子激光器、高效率波长转换、重力波检测等,近年在新激光器技术和其应用领域中,追求谐振器上用的电介质多层膜反射镜的低损耗,这些电介质多层膜是用电子束镀膜和
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<正> 在自由电子激光器、高效率波长转换、重力波检测等,近年在新激光器技术和其应用领域中,追求谐振器上用的电介质多层膜反射镜的低损耗,这些电介质多层膜是用电子束镀膜和离子束溅射方法制作的,从生产角度来看电子束已居于前列,有镀粒子能较低(<1eV)膜的多晶化问题等,不利于制作低损耗膜,而以往的反射率仅有99.95%(损失500ppm)程度.另一方面,离子束溅射粒子能非常高(>20eV),又低温操作,可得到非晶形致密的低散射膜,据报道可得到超低
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