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基于对单片衬底曝光场分布规律的研究,建立了曝光场分布优化的数学模型,推导出计算单片衬底曝光场数目及曝光场顶点坐标值的解析表达式;根据曝光场顶点与衬底中心点之间的关系,开发了优化衬底曝光场分布的算法;将该算法应用于实际曝光加工过程,结果表明:曝光场数量减少了近10%,提高了光刻机的生产效率。
LED用图形化蓝宝石衬底的光刻工艺优化
【摘 要】
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基于对单片衬底曝光场分布规律的研究,建立了曝光场分布优化的数学模型,推导出计算单片衬底曝光场数目及曝光场顶点坐标值的解析表达式;根据曝光场顶点与衬底中心点之间的关
【机 构】
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江西理工大学机电工程学院,福建晶安光电有限公司
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2021年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51665018)
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