【摘 要】
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提出一种应用于压电叠堆的微位移放大机构，该机构以压电叠堆为驱动元件，通过基于杠杆原理的柔性铰链二级放大机构，放大压电叠堆的输出位移，在互相垂直的三个自由度方向上通过磁性
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提出一种应用于压电叠堆的微位移放大机构，该机构以压电叠堆为驱动元件，通过基于杠杆原理的柔性铰链二级放大机构，放大压电叠堆的输出位移，在互相垂直的三个自由度方向上通过磁性部件连接，实现三自由度方向上独立的位移输出。同时，通过仿真和试验，对其静态特性和动态特性进行研究。试验测试结果表明：该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍，三个自由度方向上的位移互相没有影响，并且该机构具有线性良好、高分辨率和高频响应等特点。
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