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为了改善金属材料表面的综合性能，将表面改性技术和纳米技术相结合逐渐得到了人们的重视。用金属蒸气弧（MEVVA）源离子注入机，将能量为40keV，剂量为2×10^17ions／cm^2的Ti离子注入纳米纯铜中。利用透射电子显微镜（TEM）、X射线衍射仪（XRD）、俄歇电子能谱（AES）对表层组织及注入浓度分布等进行了分析。研究结果表明，纯铜表面经过SMAT纳米化处理后，注入元素的浓度呈现高斯分布，与未处理的样品相比，峰值浓度提高了30％，注入深度达到160nm。