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一种基于温差测量原理工作的集成型流量传感器
一种基于温差测量原理工作的集成型流量传感器
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 17次 | 上传用户:panshuangchun
【摘 要】
:
在比较已有的几种低流速流体的流速流量测量方法基础上 ,提出一种利用与流速相关温差的测量方案 ,并用芯片集成方法构成流量传感器加以验证 ,实验结果与理论预期基本相符。该传感器的主要优点是在低流量条件下具有高灵敏度。
【作 者】
:
吴晓波
赵梦恋
严晓浪
【机 构】
:
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2004年01期
【关键词】
:
流量传感器
流速流量
集成电路
温度差
热平衡方程
low velocity fluid
flow sensor
integrated circuit
t
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在比较已有的几种低流速流体的流速流量测量方法基础上 ,提出一种利用与流速相关温差的测量方案 ,并用芯片集成方法构成流量传感器加以验证 ,实验结果与理论预期基本相符。该传感器的主要优点是在低流量条件下具有高灵敏度。
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