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本文对作者设计的一种六自由度微动机进行位移分析,该机构由3条PP-R-S支链并联而成,为消除间隙,每条链的运动副都设计柔性铰链,本文用坐标变换方法求出了机构的输入输出微位移关系,由于柔性铰链的运动范围受到材料强度的限制。文中还建立了柔性铰链微小角位移与机构输出位移的关系,以上关系式为六自由度微动机构的结构设计提供了计算依据。