【摘 要】
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为研制符合高线性大功率的应变多量子阱激光器，文章在理论上计算了应变补偿，实验选用了金属有机物化学气相沉淀（MOCVD）工艺来研制生长AlGaInAs应变补偿多量子阱结构，最终有源区采
【机 构】
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太原理工大学物理与光电工程学院,太原理工大学信息工程学院,武汉电信器件有限公司
【基金项目】
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国家“八六三”计划资助项目(2015AA016901);山西省自然科学基金资助项目(2015011050)
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为研制符合高线性大功率的应变多量子阱激光器，文章在理论上计算了应变补偿，实验选用了金属有机物化学气相沉淀（MOCVD）工艺来研制生长AlGaInAs应变补偿多量子阱结构，最终有源区采用了7组张压应变交替的势垒和势阱层。激光器样本芯片采用共面电极结构，使得激光器的工作电流无需通过衬底，从而降低了激光器工作电容，其电容与传统激光器相比得到相应地减小，提高了激光器的光电特性。实验室制作出了应变多量子阱激光器样本芯片，光荧光分析得出光致发光谱，激射波长为1 304 nm；阈值电流为 I th ≤ 9 mA；单面斜
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