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<正> 光学薄膜反应离子镀技术是近10年来镀膜技术的最新突破,也是当今国际薄膜界研究的热点。本文以简明扼要的方式报道了作者对反应离子镀技术的最新研究成果。1 原理与实验装置光学薄膜反应离子镀技术是传统
光学薄膜的反应离子镀概述
【摘 要】
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<正> 光学薄膜反应离子镀技术是近10年来镀膜技术的最新突破,也是当今国际薄膜界研究的热点。本文以简明扼要的方式报道了作者对反应离子镀技术的最新研究成果。1 原理与实验
【机 构】
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河南师范大学物理系,河南师范大学物理系,清华大学现代应用物理系
【出 处】
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河南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年2期
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