反应离子镀相关论文
TiO2薄膜是一种极具应用前景的过渡金属氧化物光学薄膜,它具有优良的介电特性、光学特性和催化性；在可见光区透射率高,折射率大,已......
讨论了在采用离子镀获得Al2 O3 与TiO2 混合涂层工艺过程中 ,真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响......
光学薄膜反应离子镀技术是近年来新发展的一种光学薄膜技术。本文介绍了光学薄膜反应离子镀设备的研制，在此设备上成功地制备了ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、......
本文对反应离子镀和反应蒸发（电子束蒸发）工艺制备的光学薄膜的牢固度和表面粗糙度进行了检测，并将结果进行对比。......
