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提高硅微机械谐振式压力传感器的性能指标有很多方法,如何对已知敏感结构的输出量程范围内所有谐振频率点进行实时闭环跟踪是其中之一。对几种比较常用硅微机械谐振式压力传感器的激励-拾振方式进行介绍,对所调研的国内外文献给出的谐振式微结构传感器闭环控制方法进行比较分析,提出一种新的针对电热激励-压阻拾振方式的复合敏感结构进行闭环控制的方法,同时给出了提高该类型传感器性能的有效手段和研究方向。