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设计一种霍尔角度传感器前端探测头。通过Silvaco TCAD软件进行仿真,利用霍尔器件进行对称式堆叠,形成环状垂直霍尔阵列器件。它能实现对平面内多个磁场方向进行侦测,输出不需要额外的ADC电路。整体阵列结构采用单颗传感器集成于芯片内部,相比于传统水平分立式传感器的霍尔测控芯片,减少了传感器的使用数量以及封装难度。