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用ＴＥＡ ＣＯ２激光诱导四甲基硅烷的气相反应，合成了亚微米碳化硅粉末，工作气压为３０～３００ｔｏｒｒ（４－４０×１０＾３Ｐａ），激光功率密度为１０＾８Ｗ／ｃｍ＾２量级。所得ＳｉＣ颗粒纯度高，球状，直径约０．２μｍ，体积分布均匀。粉末整体呈链状的疏松集合，可在乙醇中被分散。用付立叶变换红外光谱法与ｘ射线荧光光谱法鉴定了产物的组成，用扫描电子显微镜与ｘ射线衍射光谱法分析粉末状态与晶型。讨论了反应机理以