【摘 要】
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微型机体积小,价格低,使用方便灵活。即使将其作为单纯的步进程控装置也是合算的。微型机在国外也被广泛地应用到各个领域,国内亦在开展它的应用研究。本文叙述061型微型机在
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微型机体积小,价格低,使用方便灵活。即使将其作为单纯的步进程控装置也是合算的。微型机在国外也被广泛地应用到各个领域,国内亦在开展它的应用研究。本文叙述061型微型机在自动光刻机控制中的应用方案。前半部分叙述微型机对自动光刻机程序控制,如分别对电磁铁、步进电机、力矩电机控制,并附有部分流程图、源程序。后半部分着重介绍了自动光刻机自动测量,信号取得,微型机原始信号的输入,对测量数据分析、判别、误差计算以及对四条狭缝产生的信号进行综合,以求出转化为工作台X、Y、θ三方向移动距离的原理和方法。
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