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径迹显微技术（PTA）是研究硼的晶界偏聚的行之有效的方法.本文运用蒙特卡罗方法建立了径迹固体探测器上蚀坑带宽度与晶界区域硼富集带实际宽度之间的对应关系.模拟计算结果表明,蚀坑带宽度受实际富集带宽度和晶界平面与磨面夹角2个因素影响.蚀坑带宽度随晶界硼富集带宽度的增加与晶界面与探测器平面夹角的减小而增加,利用本文程序计算结果,可根据蚀坑带宽度和晶界平面与磨面夹角更准确的获得实际富集带宽度.