2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 非晶SrTiO3纳米薄膜退火处理方法的研究

非晶SrTiO3纳米薄膜退火处理方法的研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rovewind

【摘 要】

：

用激光脉冲沉积技术(PLD),以N型(100)Si为基底在300℃下制备100nm非晶STO薄膜,分别用常规退火(CFA),快速退火(RTA)以及激光诱导晶化(LIC)处理将其转化多晶薄膜,用XRD测定薄膜

【作 者】

：

黄文 孙小峰 蒋书文 张鹰 李言荣 

【机 构】

：

电子科技大学

【出 处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2004年z1期

【关键词】

：

SRTIO3薄膜 退火处理 界面形态 晶化 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用激光脉冲沉积技术(PLD),以N型(100)Si为基底在300℃下制备100nm非晶STO薄膜,分别用常规退火(CFA),快速退火(RTA)以及激光诱导晶化(LIC)处理将其转化多晶薄膜,用XRD测定薄膜相组分和结晶质量,用AFM观测薄膜表面微结构.比较不同工艺退火对薄膜结晶品质的影响并阐述了各自形核结晶的机理.

其他文献

101对围生期母子GBSAg携带相关因素的调查

期刊

B族链球菌携带相关因素孕妇新生儿调查

川崎病患儿红细胞补体I活性及IgE变化

期刊

川崎病红细胞补体IIGE儿童

“工薪牌”是永远的王牌

期刊

工薪阶层麦当劳

钢桥面板肋-面板焊缝疲劳裂纹的三维扩展及寿命分析

为研究钢桥面板肋-面板焊缝疲劳裂纹扩展机理,准确评估其疲劳性能,对肋-面板焊缝疲劳裂纹进行三维扩展分析及寿命预测。以天津海河大桥为工程背景,建立钢箱梁节段模型用于肋-

期刊

正交异性钢桥面板肋-面板焊缝局部三维断裂力学模型疲劳裂纹扩展Schwartz-Neuman交替法

人皮肤慢性光老化成纤维细胞环状RNA的差异表达

目的：构建人皮肤慢性光老化成纤维细胞模型，筛查与光老化相关的环状RNA（circRNA）。方法：分离培养成纤维细胞，利用UVA多次照射，制作人皮肤慢性光老化成纤维细胞模型，采用β-半乳糖苷酶

期刊

光老化成纤维细胞环状RNA

新生儿感染血清粒细胞集落刺激因子的测定

期刊

新生儿感染G-CSF粒细胞集落刺激因子测定

支气管肺炎的柯萨奇病毒B组感染

为探讨柯萨奇病毒Ｂ组（ＣＶＢ）感染与小儿支气管肺炎的关系，ＥＬＩＳＡ法检测ＣＶＢ特异性抗体ＩｇＭ，阳性率３０．３％，ＲＴ－ＰＣＲ技术检测ＣＶＢ－ＲＮＡ，阳性率４．８％。对ＣＶＢ－ＩｇＭ阳性患儿采用抗病毒治疗，疗效好。认为ＣＶＢ感染已成为我国小儿支气管肺炎的重要病因，ＣＶＢ－ＩｇＭ检测

期刊

肺炎支气管肺炎柯萨奇病毒BELISAPCR儿童

小组合作学习在高中数学教学中应用

新课程的改革,使得小组合作学习在高中数学教学中得到广泛应用.实践证明,这种教学方式的应用,在提高学生合作能力的同时,还能增强其数学学习兴趣.基于此,本文就对小组合作在

期刊

高中数学小组合作学习应用

智慧视角下的永定河综合治理与生态修复顶层设计

《永定河综合治理与生态修复总体方案》提出利用5~10年时间逐步将永定河恢复为“流动的河、绿色的河、清洁的河、安全的河”。为了支撑《总体方案》的实施,并使智慧水利研究

期刊

永定河智慧水利顶层设计水资源管理Yongding Riverwisdom water conservancytop designwater resour

《美术观察》2019年度论坛在中国艺术研究院举行

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

期刊

中国艺术研究院《美术观察》美术学院