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本文运用希尔伯特变换空间调制器使十字光栅一级衍射谱的强度分布用于精密定位。模拟实验结果表明;本方法调节得当,定位精度可达10~(-4),因而可用于检测导轨或工作平台的平直度。
希尔伯特变换在精密定位中的应用
【摘 要】
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本文运用希尔伯特变换空间调制器使十字光栅一级衍射谱的强度分布用于精密定位。模拟实验结果表明;本方法调节得当,定位精度可达10~(-4),因而可用于检测导轨或工作平台的平直
【机 构】
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苏州大学物理系,苏州大学物理系
【出 处】
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苏州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1989年2期
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