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期刊论文
多晶硅还原生产中常见问题
多晶硅还原生产中常见问题
来源 :山东工业技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aspl12315
【摘 要】
:
随着我国半导体工业结构的调整,高纯多晶硅需求量不断增长,而多晶硅在还原炉内反应过程中受很多因素影响,浅谈了多晶硅在还原过程中常见问题,如夹层,倒棒、爆米花等现象,针对
【作 者】
:
陈叮琳
杨紫琪
【机 构】
:
青海黄河水电新能源分公司,青海黄河水电光伏产业技术有限公司
【出 处】
:
山东工业技术
【发表日期】
:
2016年17期
【关键词】
:
多晶硅
还原
问题
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随着我国半导体工业结构的调整,高纯多晶硅需求量不断增长,而多晶硅在还原炉内反应过程中受很多因素影响,浅谈了多晶硅在还原过程中常见问题,如夹层,倒棒、爆米花等现象,针对这些现象,分析原因,并提出相应处理措施。
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