微波毫米波真空微电子器件研究进展

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【摘要】

：

本文简介近２～３年来，基于阵列场发射（ＦＥＡ）电子源的微波毫米波真空微电子器件的研究进展情况． This article describes the recent 2 ~ 3 years, based on Array Field Emission (FEA) e

【作者】

：

刘光

【机构】

：

中国科学院电子所

【出处】

：

地质科技管理

【发表日期】

：

1995年04期

【关键词】

：

微电子器件微波毫米波场发射阴极毫米波技术分布放大器行波管门极电压电子源慢波结构返波振荡器

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本文简介近２～３年来，基于阵列场发射（ＦＥＡ）电子源的微波毫米波真空微电子器件的研究进展情况． This article describes the recent 2 ~ 3 years, based on Array Field Emission (FEA) electron source microwave millimeter wave vacuum microelectronic devices research progress.

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