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以铋系超导薄膜材料为例，应用X射线反射法测量薄膜材料的厚度以及粗糙度等结构参数，对测量方法的原理、衍射仪的调试和步骤等进行了详细的说明。这一方法为薄膜材料结构参数的测量提供了新途径。
X射线反射法测量铋系超导薄膜的结构参数
【摘 要】
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以铋系超导薄膜材料为例，应用X射线反射法测量薄膜材料的厚度以及粗糙度等结构参数，对测量方法的原理、衍射仪的调试和步骤等进行了详细的说明。这一方法为薄膜材料结构参数的
【机 构】
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东北大学研究院分析测试中心,东北大学理学院
【出 处】
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理化检验：物理分册
【发表日期】
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2009年6期
【基金项目】
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基金项目：沈阳市大型科学仪器网资助项目
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