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利用椭圆偏振光谱进行薄膜样品的测量数据分析拟合时, 薄膜厚度与介电常数通常具有一定的关联性。不同色散模型的选取也会对拟合结果产生明显的影响, 引起较大误差。介绍了唯一性检测在椭偏拟合中的实现方法。并以二氧化钛样品为例, 利用唯一性检测对比了不同色散模型、不同厚度、不同测量波段、不同入射角度时的唯一性检测结果。结果表明, 唯一性检测能够有效标定出椭偏测量和拟合过程中所产生的误差, 同时能够对不同色散模型进行量化对比, 提升拟合精度。