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柔性Pb(Zr_0.53Ti_0.47)O₃薄膜在被动结构健康监测

来源 :应用物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wxy20009

【摘 要】

：

本文利用脉冲激光沉积技术成功制备了沿(111)外延生长的锆钛酸铅(Pb(Zr0.53Ti0.47)O3, PZT)薄膜,选用的衬底材料为层状可剥离氟晶云母(mica)。mica衬底通过机械剥离可得到柔

【作 者】

：

时鑫娜 施大宁 杨浩 

【机 构】

：

南京航空航天大学理学院

【出 处】

：

应用物理

【发表日期】

：

2020年3期

【关键词】

：

柔性PZT薄膜 压电性 LAMB波 被动监测 

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本文利用脉冲激光沉积技术成功制备了沿(111)外延生长的锆钛酸铅(Pb(Zr0.53Ti0.47)O3, PZT)薄膜,选用的衬底材料为层状可剥离氟晶云母(mica)。mica衬底通过机械剥离可得到柔性的PZT外延薄膜。同时测试了刚性PZT外延薄膜样品压电系数d33 (24 pm/V),并与机械剥离刚性云母衬底后薄膜的压电系数(110 pm/V)进行了对比,发现柔性PZT薄膜的压电系数大于刚性PZT薄膜的压电系数。在结构健康监测中,被动监测手段广泛应用于飞行器、航天器、大型设备中。本文报道了利用柔性PZT

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