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在分析现有三坐标测量机（CMM）测量路径算法的基础上，提出一种基于已知CAD模型和矢量相似淘汰算法的CMM测量路径规划方法。该算法根据测量邻近点之间的曲率变化关系，优化选择测量点，生成测量路径和DMIS程序。同时，建立了DMIS程序仿真检验平台。试验证明，经过仿真检验平台检验调试的DMIS程序可直接运用于CMM测量，并可取得良好的测量效果，大大提高了三坐标测量的效率和精度。