化学所在嵌段共聚物自组装形貌调控研究方面取得重要进展

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嵌段聚合物可以自发组装为尺寸周期低于100nm以下纳米的结构,进而作为制备具有特定纳米结构材料的模板。嵌段共聚物尺寸小且有高产易得的优异特点,使其得到了广泛的关注和研究。基于嵌段聚合物的纳米刻蚀技术被认为是最重要的下一代刻蚀技术之一。为了实现纳米刻蚀技术的应用,需要解决嵌段聚合物满足垂直取向形貌控制和局部图案调控两方面的难题。 Block polymers can spontaneously assemble into nanostructures with size cycles below 100 nm, and thus serve as templates for the preparation of materials with specific nanostructures. Block copolymer small size and high yield easy to get excellent features, it has been widespread concern and research. Nano-etching based on block polymers is considered as one of the most important next-generation etching technologies. In order to realize the application of nano-etching technology, it is necessary to solve the problems that the block polymer meets the requirements of vertical orientation and topography control and local pattern regulation.
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