【摘 要】
：
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一
论文部分内容阅读
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。
其他文献
[目的]检测电焊作业环境主要职业病危害因素,提出切实可行的防护对策。[方法]2011年抽取不同焊接行业16家(次)企业,对焊接作业环境进行职业病危害因素检测。[结果]手工电焊作
随着现代信息技术的发展,多媒体技术在各个领域中都得到广泛的应用,因其独特的直观性、生动性及高效性等特点,在教育与教学中多媒体也正在发挥着重要的作用。多媒体教学在学
会被群众逼到光火动武的，绝不只有中国警察。$$今年8月9日，美国一名联邦法官对一起中国妇女被警察“过度暴力”的案例作出裁决。该案例中，美国警察在逮捕一名毒贩的时候发现了在
[目的]建立用高效液相色谱串联质谱(HPLC-MS/MS)测定人尿液中双酚A(bisphenol A,BPA)、三氯生(triclosan,TCS)与正壬基酚(nonylphenol,4-n-NP)含量的方法,分析上海地区育龄男
[目的]探讨山西某地区土法炼金活动影响环境中汞（Hg）的分布以及对当地居民肾功能的影响。[方法]用原子荧光光谱法测定大气、水、粮食Hg含量以及居民尿Hg含量,尿N-乙酰-β-D氨基
<正>戏剧教学是高中语文教学的重要组成部分,对于增长学生的知识,丰富学生对历史、社会、人生的认识,培养学生的审美情趣,增强学生的实践能力,提升学生的艺术素养有着积极的
<正> 一、欧、美、日合作金融体制的特点 (一) 德国特色的合作金融体制 德国是世界信用合作运动的发祥地,自1849年德国牧师雷发巽在莱茵河畔创办世界上第一个信用合作社的一
据中国证券投资基金业协会最新统计，截至2019年1月底，我国货币基金净资产占公募基金比重高达60%左右，而股票基金占比却仅有6%，仅相当于货币基金的1/10，即便算上混合基金，也仍是一个
目的探讨溃清肠汤灌肠辅助治疗溃疡性结肠炎的临床效果。方法整群选取2013年9月—2014年12月期间该院收治的溃疡性结肠炎患者,共46例。以随机数字表法将其分为治疗组和对照组
通过微波萃取提取土壤中的有机氯农药,萃取溶液经浓硫酸脱色、佛罗里硅土柱净化,最后用气相色谱质谱法分析。以石英砂为基体进行加标回收测定,有机氯农药的回收率在75.5%～103%