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扼要介绍采用薄膜双层布线技术研制的幅相变换器的性能、版图设计、制造工艺及测试结果。
采用薄膜双层布线的幅相变换器
【摘 要】
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扼要介绍采用薄膜双层布线技术研制的幅相变换器的性能、版图设计、制造工艺及测试结果。
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2000年12期
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