论文部分内容阅读
如将激光去除材料用于高精密几何形状的加工,则需要对加工过程中的去除量做精确测量.目前有一种新式距离传感器,能够在线测量去除量和工件表面的几何形状.这种
监控激光材料加工的光学传感器
【摘 要】
：
如将激光去除材料用于高精密几何形状的加工,则需要对加工过程中的去除量做精确测量.目前有一种新式距离传感器,能够在线测量去除量和工件表面的几何形状.这种
【出 处】
：
光机电信息
【发表日期】
：
1996年03期
其他文献
微型技术及其相邻的工艺，为以发电和电场评价为基础的元件，开辟了许多新应用的可能性。本文介绍一种设计完备的微型技术构造的静电驱动装置。从有限元件计算出发，根据工艺上生产
不久前,针对传统的光学微光刻术,出现一种效率更高的技术,这就是利用全息图而不是一般用透镜,将掩模的结构复制在芯片上.按此方法,可利用常规的紫外激光,在大的照明范围内达
<正> 巴伐利亚激光中心与艾尔兰根·纽伦堡的Friedlich—Alexander大学的教研室合作,共同进行工艺和系统的开发。并在培训与再教育方面承担顾问工作。该中心目前有69名工
<正> 1.开发背景由于摄像器件CCD的技术迅速发展,以及其外围电路的大规模集成化,能够构成简单的视频图像处理系统,目前不仅有黑白摄像机,也有彩色摄像机,有小型的可实现低价
<正> 美国国家标准技术研究所和哈佛大学正在研究一种新的微细刻蚀方法,即用粒子束代替光束.热心于搞光刻的人也很高兴的知道这种方法需要用光代替光.国家标准技术研究所的物
<正> 几年前,将质量100kg以下的物体移动1m的距离,就可容易地以几nm的精度对目标进行定位,这样的超精密定位技术实际上已应用于制造半导体的器件和非球面透镜的超精加工工作
<正> 在激光光学和天文学中进行的某些研究必须采用大尺寸反射镜,这些反射镜除了质量小、刚性高以外,还应当具有高水平的反射表面热稳定性.据俄刊报道在贝尔米的“粉末工艺和
<正> 评价皮肤的光学参数可给皮肤病学家提供关于其状态的信息,并用于诊断皮肤疾病,研究环境介质因素作用的结果,评价进行治疗的效 果等.作为皮肤光学诊断的主要方法是反射光