氧化锆膜的制备和表征

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本文以氧氯化锆为原料用Sol-Gel技术在多孔陶瓷管上制备了ZrO2膜,文中考察了草酸氧锆溶胶的粒子大小和流动特性;用SEM、气体流动法等手段对氧化锆膜的结构、形貌与孔径大小分布进行了表征,并对膜的气体渗透性进行了考察.实验表明:用这种方法制备出的氧化锆膜无针孔、无缺陷,且孔径分布集中.
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