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叙述了硅悬梁式加速度计的结构原理，讨论了可动系统的阻尼特性及建模方法，分析了硅悬梁临界形变以及相应的临界极化电压。
硅悬梁式加速度计的研究
【摘 要】
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叙述了硅悬梁式加速度计的结构原理，讨论了可动系统的阻尼特性及建模方法，分析了硅悬梁临界形变以及相应的临界极化电压。
【机 构】
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哈尔滨理工大学,哈尔滨电机有限责任公司
【出 处】
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电测与仪表
【发表日期】
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1999年3期
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