采用柱弧离子镀和中频孪生靶非平衡磁控溅射镀膜技术制备了Ti—N—C多层复合黑色硬质膜。采用轮廊仪扫描电子显微镜（SEM）、分光光度......

利用自制的柱弧离子镀膜机，在不同硬度基体上制备了Ti／TiN／Ti（N，C）／TiC多层复合膜。膜呈深黑色，反射率小于14％，亮度值L^＊小于43，沉积速率约为0．7......